- 商品介绍
产品介绍 Overview
旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液，这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。通过使用磁耦合，这种泵的整体泄漏率低于 1 · 10-7 Pa m3/s，从而使腐蚀性应用时的运行安全性最大化。全氟聚醚 (PFPE) 工作液必须单独订购。
产品特点 Features
● 具有最高 24 m3/h 抽吸能力的双级高效旋片泵
● 带有单相电机
● 集成型气镇阀和高压安全阀
● 适于所有粗真空和中度真空范围的应用
● 带磁性接合器的腐蚀性气体机型
● 特点：通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
● 其他电动机电压的供货备询
技术参数 Specifications
技术参数 | Duo 20 MC，单相电机，230–240 V，50/60 Hz |
连接法兰（入口） | DN 25 ISO-KF |
连接法兰（出口） | DN 25 ISO-KF |
50 Hz 时的抽速 | 20 m³/h | 11.77 cfm | 333.33 l/min |
60 Hz 时的抽速 | 24 m³/h | 14.13 cfm | 400 l/min |
带气镇的最终压力 | 7 · 10-3 百帕 |
不带气镇的最终压力 | 4 · 10-3 百帕 |
最小排气压力 | 250 hpa |
最高排气压力 | 1500 hpa |
50 Hz 时的转速 | 1,500 rpm | 1,500 min-1 |
60 Hz 时的转速 | 1,800 rpm | 1,800 min-1 |
冷却类型，标准 | 空气 |
电机保护 | 双金属片 |
电机型号 | 单相电机 |
环境温度 | 12 – 40 °C |
连续气体温度，最大值 | 40℃ |
50 Hz 时不带气镇的声压级 | 57 (A) |
开关 | 是 |
| 电源连接:电压(范围) | ±5 % |
电源连接:电压 50 Hz | 200 – 240 V |
电源连接:电压 60 Hz | 208 – 240 V |
电源电缆 | 是 |
腐蚀性气体版本 | 是 |
工作液体 | F4 |
| 工作流体添加 | 1 L |
安全阀泄漏率 | ≤ 1 · 10-5 Pa m3/s | ≤ 7.5 · 10-5 Torr l/s | ≤ 1 · 10-4 mbar l/s |
额定功率 50 Hz | 0.75 kw |
额定功率 60 Hz | 0.9 kw |
防护等级 | IP54 |
电磁联轴器 | 是 |
重量 | 42.5 kg |
产品细节 Details
产品尺寸 Dimensions
A 551 mm
H 262 mm
单位：mm
产品应用 Applications
CVD 涂层
涂层（磨损保护）
半导体技术
研究和开发
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- 权利声明
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