- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
Edwards STPA2203C 是为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵。它使用先进的转子技术，可实现一流的性能，最大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间，而且采用直流驱动技术，无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用，并得到了认可。
产品特点 Features
●先进的转子设计
●更高的气体吞吐量
●最大的制程灵活性
●5 轴磁悬浮系统
●无污染
●少维护
●防腐蚀
●可用于严苛制程
●使用寿命延长
●紧凑型设计
●占地面积小
●半机架控制器
●先进的控制器设计
●自动调整
●自行诊断功能
●直流电机驱动
●无电池运行
技术参数 Specifications
| 入口法兰 | ISO250F |
| 出口 | KF40 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 水冷却接头 | PT1/4 |
| 抽速 | |
| N2 | 2200 ls-1 |
| H2 | 1700 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >2.5 x 104 |
| 极限压力 | 10-6 Pa (10-8 Torr) |
| 允许的最大前级压力 | 400 Pa (3 Torr) |
| 最大氮气吞吐量 | 1500 sccm |
| 额定速度 | 27000 rpm |
| 启动时间 | 7 分钟 |
| 固定位置 | 任意 |
| 水冷却流量 | 2 lmin-1 |
| 水冷却温度 | 5-25 °C |
| 压力 | 0.3 MPa |
| 推荐的吹扫气体流量 | 20 sccm |
| 输入电压 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 1.5 kVA |
| 泵重量 | 61 kg |
| 控制器重量 | 12 kg |
产品应用 Applications
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋
一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵专用维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS专用真空油、ADIXEN专用真空油等。
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