- 商品介绍
产品介绍 Overview
POWER Eco系列低温泵是一种高性能节能低温泵，旨在降低能耗和冷却水流量。
产品特点 Features
● 节能降耗
耗电量和冷却水减少15%至70%
● 缩短再生
启动时间不到以前产品的一半。（与我们以前的产品相比）
● 提高泵送性能
大量流量输送能力增加了1.5到4倍。（与我们以前的产品相比）
技术参数 Specifications
| 型号 | P-085C | P-086C | P-086CL | P-087C | P-106C | P-106CL | P-126C | P-126CL | P-127C | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径 | 8inch | 8inch | 8inch | 8inch | 10inch | 10inch | 12inch | 12inch | 12inch | ||
| 安装角度 | 垂直 | 垂直 | 水平 | 垂直 | 垂直 | 水平 | 垂直 | 水平 | 垂直 | ||
| 排气速度 (L/s) | N2 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 2,400 | 2,400 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | |
| Ar | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | ||
| H2 | 1,000 | 2,500 | 2,200 | 1,000 | 3,800 | 3,700 | 6,000 | 6,000 | 3,000 | ||
| 水 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 6,400 | 6,400 | 9,000 | 9,000 | 9,000 | ||
| 最大流量(Pa·m3/s) | 1.2 | 1.2 | 1.1 | 1.2 | 1.0 | 1.0 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | ||
| 最大排气量(Pa·m3) | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||
| 启动时间(min) | 60 | 65 | 80 | 60 | 85 | 100 | 95 | 105 | 70 | *1 | |
| 再生加热时间(min) | 40 | 40 | 45 | 40 | 45 | 50 | 45 | 50 | 40 | *1 | |
| 启动再生时间(min) | 100+α | 105+α | 125+α | 100+α | 130+α | 150+α | 140+α | 155+α | 110+α | *1 | |
| 抽速 (Pa·m3) | Arg | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 160,000 | 140,000 | 260,000 | 200,000 | 400,000 | *2 |
| H2 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 2,400 | 2,200 | 1,600 | ||
| 极限温度 (K) | 15 or less | ||||||||||
| 极限压力(Pa) | Approx. 10-7 | ||||||||||
| 最高加热温度(℃) | 70 | ||||||||||
| 环境温度(℃) | 10 to 35 | ||||||||||
| 建议保养周期(h) | Within 16,000h | ||||||||||
| 重量(kg) | 22 | 22 | 22 | 23 | 24 | 25 | 29 | 30 | 29 | ||
| 可操作单元数量 | P-421CA | 3* | 3* | 3* | 3* | 2* | 2* | 2* | 2* | 2* | *3、*4 |
| P-875CA | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | *3 | |
| 型号 | P-128C | P-128CL | P-160C | P-161C | P-161CL | P-166C | P-201C | P-206C | P-226C | 备注 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径 | 12inch | 12inch | 16inch | 16inch | 16inch | 16inch | 20inch | 20inch | 22inch | ||
| 安装角度 | 垂直 | 水平 | 垂直 | 垂直 | 水平 | 垂直 | 垂直 | 垂直 | 垂直 | ||
| 排气速度 (L/S) | N2 | 4,000 | 4,000 | 8,000 | 8,000 | 7,400 | 8,000 | 13,000 | 13,000 | 17,000 | |
| Ar | 3,200 | 3,200 | 5,500 | 5,500 | 5,000 | 5,500 | 9,000 | 9,000 | 11,000 | ||
| H | 6,000 | 5,000 | 5,500 | 11,000 | 10,000 | 11,000 | 17,000 | 17,000 | 23,000 | ||
| 9,000 | 9,000 | 17,000 | 17,000 | 17,000 | 17,000 | 28,000 | 28,000 | 39,000 | |||
| 最大流量(Pa·m3/s) | 2.2 | 2.2 | 2.2 | 2.0 | 2.2 | 3.5 | 1.3 | 3.0 | 2.7 | ||
| 最大排气量(Pa·m3) | 40 | 40 | 50 | 50 | 50 | 50 | 80 | 80 | 133 | ||
| 启动时间(min) | 110 | 115 | 70 | 90 | 120 | 80 | 150 | 100 | 120 | *1 | |
| 再生加热时间(min) | 70 | 70 | 40 | 60 | 60 | 60 | 70 | 80 | 80 | *1 | |
| 再生启动时间(min) | 180+α | 185+α | 110+α | 150+α | 180+α | 140+α | 220+α | 180+α | 200+α | *1 | |
| 抽速 (Pa·m3) | Ar | 270,000 | 200,000 | 400,000 | 400,000 | 200,000 | 400,000 | 800,000 | 800,000 | 1,000,000 | *2 |
| H2 | 4,000 | 3,500 | 1,600 | 3,400 | 3,000 | 3,400 | 4,500 | 7,500 | 7,500 | ||
| 极限温度(K) | 15 or less | ||||||||||
| 极限压力(Pa) | Approx. 10-7 | ||||||||||
| 最高加热温度(℃) | 70 | ||||||||||
| 环境温度(℃) | 10 to 35 | ||||||||||
| 建议保养周期(h) | Within 16,000h | ||||||||||
| 重量kg) | 33 | 34 | 50 | 50 | 65 | 50 | 60 | 60 | 87 | ||
| 可操作单元数量 | P-421CA | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | - | 1 | - | - | *4 |
| P-875CA | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 2 | 1 | 1 | *3 | |
产品应用 Applications
半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）
电子元器件制造设备
真空蒸发系统
真空炉、空间室
加速器
各种高真空设备
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