- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的最新技术）。
该泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。
产品特点 Features
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
技术参数 Specifications
| 入口法兰尺寸 | ISO250F / VG250 / ICF305 |
| 前级抽气口尺寸 | KF40 |
| 抽速 N2 | 2650 ls-1 |
| 抽速 Ar | 2300 ls-1 |
| 压缩比 N2/H2 | >108 / 2 x 103 |
| 极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) |
| 最大气流 N2 *（仅水冷） | 4000 sccm |
| (6.76 Pam3s-1) | |
| 最大气流 Ar *（仅水冷） | 2100 sccm |
| (3.55 Pam3s-1) | |
| 额定速度 | 27700 rpm |
| 启动时间 | <10 分钟 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 输入电压 | 200-240 V |
| 最大输入功率（不带 TMS） | 1500 VA |
| 最大输入功率（带 TMS） | 1800 VA |
| 重量 | 80 kg |
* 最大气流适用于在 25 ºC 以下的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体，并且使用前级泵（10,000 l/min 尺寸）的情况。 它会随条件变化而变化。
产品尺寸 Dimensions
产品应用 Applications
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
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