- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
Edwards 的高性能 STPH301CV TMS 涡轮分子泵是为最严苛的半导体应用而设计的。这种泵经过实践检验的可靠性和一流的性能可以实现最大的制程灵活性。STPH301CV TMS 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。
产品特点 Features
先进的转子技术 更高的气体吞吐量
最大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
先进的控制器设计 自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计 占地面积小
半机架控制器
5 轴磁悬浮系统 无污染
少维护
任意方向操作
技术参数 Specifications
| 入口法兰 | ISO100K |
| 出口 | KF40 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 水冷却接头 | PT1/4 |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 200 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | 103 |
| 加热时的极限压力 | 10-7 Pa |
| (10-9 Torr) | |
| 最大连续出口压力 | 660 Pa |
| (5 Torr) | |
| 最大氮气吞吐量 | 2500 sccm |
| 额定速度 | 48000 rpm |
| 启动时间 | 4 分钟 |
| 最高入口法兰温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
| 200 至 240 (± 10) V 交流 | |
| 功耗 | 0.6 kVA |
| 泵重量 | 15 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
| 1.300 ls-1 N2 | 2.280 ls-1 He | 3.200 ls-1 H2 |
产品尺寸 Dimensions
| A | 电气接头 | B | 出口 | C | 吹扫口 |
| D | 冷却水出口 | E | 冷却水入口 |
产品应用 Applications
金属（铝）、钨和介电（氧化物）以及多晶硅的等离子蚀刻（氯、氟和溴化学物质）
电子回旋共振 (ECR) 蚀刻
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线抽取端站
MBE
扩散
光阻剥离
晶体/外延生长
晶圆检查
负载锁定室
科学仪器： 表面分析，质谱分析，电子显微镜
高能物理： 射束线，加速器
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- 权利声明
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