- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
Edwards STPA1303C 是为半导体应用而设计的涡轮分子泵。Edwards 的先进转子技术可实现一流的性能和最大的制程灵活性。STPA1303C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。
产品特点 Features
先进的转子技术 更高的气体吞吐量
最大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
先进的控制器设计 自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计 占地面积小
半机架控制器
技术参数 Specifications
| 入口法兰 | ISO200F |
| 出口 | KF40 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 水冷却接头 | PT1/4 |
| 抽速 | |
| N2 | 1300 ls-1 |
| H2 | 800 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | 103 |
| 加热时的极限压力 | 10-7 Pa |
| (10-9 Torr) | |
| 最大连续出口压力* | 270 Pa |
| (2 Torr) | |
| 最大氮气吞吐量* | 1500 sccm |
| 额定速度 | 32500 rpm |
| 启动时间 | 7 分钟 |
| 最高入口法兰温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 0.85 kVA |
| 泵重量 | 39 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
产品应用 Applications
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋
- 价格及货期说明
-
乐克价：是指普通会员最终购买商品的价格。
会员价或折扣价：是指通过企业认证的会员，可享的专属审批折扣价。
缺货货期：是指在产品无现货或者库存无法满足采购量时的一个参考发货日期。在商品暂无现货或目前库存不能满足您的采购量时，乐克需要一定的时间来为您备货；如商品的缺货货期是10天，则您下单后，乐克会在10天内尽快为您发货。如果数量庞大，请咨询我们客服具体货期。
- 保障声明
-
正品保障
乐克向您保证所售商品均为正品行货，开具正规发票。
注：因厂家会不提前通知的情况下更改产品包装、附件或产地，本司不能确保客户收到的货物与本网站的图片、产地、附件说明完全一致。只能确保为原厂正货！并且保证与当时市场上同品牌同型号的主流产品一致。若本网站没有及时更新，敬请谅解！
售后保障
乐克产品在使用过程中如因产品质量问题有“退换返修”的需求，您可通过乐克客户端提交您的售后申请，乐克客服会第一时间为您处理，在售后服务过程中如遇到问题也可致电乐克客服热线：400-885-8833
1、乐克退货政策
2、售后上门取件
您购买的乐克商品7日内（含7日，自物流系统反馈签收之日起计算）因质量问题（非人为使用损坏）提交退换申请且审核通过，在乐克配送范围内，乐克提供免费上门取件服务。非质量问题的上门取件需要收费。法定节假日、停电、天气等不可抗力情况除外。
3、质量故障处理的时效保障
您购买的乐克商品在质保期内如出现故障，乐克售后服务部收到故障品并确认属于质量故障（以国家三包法等有关法律、法规为准）开始计时。在1个工作日内（工作时间每周一至周五，8:30至17:30，法定节假日、停电等无法正常处理情况除外）给出售后问题的处理方案。
- 权利声明
-
乐克上的所有商品信息（包括但不限于商品图片、商品介绍、产品视频及文档）、产品咨询信息，是乐克重要的经营资源，未经许可，禁止非法转载及使用。
- 猜你喜欢
- 买家推荐
-
¥5600.00
-
¥15600.00
-
¥1800.00
评论晒单