- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、最高的可靠性和一流的性能，满足最新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在最新的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。
产品特点 Features
先进的转子设计 改进的性能
更高的气体吞吐量
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统 无污染
低振动
防腐蚀 可用于严苛制程
使用寿命延长
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
先进的控制器设计 自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
技术参数 Specifications
产品尺寸 Dimensions
| A | 电气接头 | B | 出口 | C | 吹扫口 |
| D | 冷却水出口 | E | 冷却水入口 |
产品应用 Applications
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋
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