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爱德华 Edwards Vacuum YT4V66001,ISO250F 进气口,涡轮分子真空泵STPA2203CV TMS  

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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards STPA2203CV TMS 是新型的涡轮分子泵,可在半导体应用中使用。它使用先进的转子技术,可实现一流的性能,最大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,而且采用直流驱动技术,无需电池即可运行。半导体和磁介质行业内的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商已批准使用 STPA2203CV TMS。

产品特点 Features

先进的转子设计  更高的气体吞吐量

最大的制程灵活性

5 轴磁悬浮系统  无污染

少维护

防腐蚀  可用于严苛制程

使用寿命延长

紧凑型设计  占地面积小

半机架控制器

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

技术参数 Specifications
入口法兰ISO250F
出口KF40
吹扫口KF10
水冷却接头PT1/4
抽速
  N22200 ls-1
  H21700 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2>2.5 x 104
极限压力10-6 Pa

(10-8 Torr)
允许的最大前级压力400 Pa

(3 Torr)
最大氮气吞吐量1500 sccm
额定速度27000 rpm
启动时间7 分钟
固定位置任意
水冷却流量2 lmin-1
水冷却温度5-25 °C
压力0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量20 sccm
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
功耗1.5 kVA
泵重量61 kg
控制器重量12 kg


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送端点站

MBE

扩散

光致抗蚀剂脱模

晶体/晶膜生长

晶片检查

负载锁真空腔

科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋

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