各种真空泵的极限真空度如下：
· 机械泵。机械泵一般能达到10^-3Pa的极限真空度。
· 扩散泵。扩散泵能够达到10^-7Pa的极限真空度，其中水环式扩散泵可达到10^-1Pa的高真空度。
· 离子泵。离子泵能够达到10^-9Pa的超高真空度，最高真空度可以达到10^-11Pa。
· 分子泵。分子泵能够达到10^-10Pa的超高真空度，甚至能够达到更低的10^-11Pa或者更高的10^-8Pa。
· 涡轮分子泵。涡轮分子泵的极限真空度可以达到10^-10Pa。
· 旋片式机械真空泵。旋片式机械真空泵的极限真空度在10^-1Pa左右。
· 罗茨泵。罗茨泵的极限真空度在10^-2Pa左右。
· 油扩散泵。油扩散泵的极限真空度在10^-6Pa。
· 低温吸附泵。低温吸附泵的极限真空度在10^-1Pa到10^-8Pa之间，取决于所采 用的低温温度、吸附物质的表面积、被吸附气体的种类等因素。
· 溅射离子泵。溅射离子泵的极限真空度与其他泵种串联使用，可达10^-8Pa。
需要注意的是，这些极限真空度是在没有负载的条件下获得的最大真空度，实际应用中可能受到多种因素的影响。
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