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真空泵种类

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· 变容真空泵。这种泵通过泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气，分为往复式和旋转式两种。往复式真空泵利用活塞往复运动吸气和压缩气体，而旋转式真空泵则通过泵腔内转子部件的旋转运动实现吸气和压缩气体。¹

· 动量传输泵。这种泵依靠高速旋转的叶片或射流将动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。常见的类型包括分子真空泵、喷射真空泵等。¹²

· 机械式容积真空泵。这种泵通过机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用，包括往复式真空泵、旋片式真空泵、螺杆式真空泵、罗茨式真空泵等。¹²³⁴

· 吸附式真空泵。这种泵通过物理或化学方法使气体分子吸附在泵壁表面，主要用于捕集式真空泵。²⁵

· 扩散泵。这种泵利用气体分子在泵内的扩散运动来抽气，包括自净化扩散泵、分馏式扩散泵等。²⁴

此外，还有离子输运泵、低温泵等特殊类型的真空泵。这些泵根据其极限压力和应用场景的不同，又可以细分为低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵等。

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