Edward爱德华真空泵无油干式涡旋泵/20i电动前级泵扫描
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产品介绍 Overview
产品特点 Features
产品特点
集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS可完全进行现场维修
产品特点
真空外壳中不需要使用润滑剂，完全密封可保证01彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染
02无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相03结合，只需最低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
04改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
05先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视
技术参数 Specifications
| 型号 | 6i | 10i | 15i | 20i |
| 额定转速 | 1800 rpm | 1800 rpm | 1800 rpm | 1800 rpm |
| 排量 | 6.2m3h-1 / 3.6ft3min-1 | 12.7m3h-1 / 7.5ft3min-1 | 17.1m3h-1 / 10.1ft3min-1 | 28.0m3h-1 / 16.54ft3min-1 |
| 峰值抽取速度 | 6.2m3h-1 / 3.6ft3min-1 | 11.4m3h-1 / 6.7ft3min-1 | 15.1m3h-1 / 8.9ft3min-1 | 22.0m3h-1 / 13.0ft3min-1 |
| 极限真空( 总压力) | 0.02mbar / 0.015Torr | 0.007mbar / 0.005Torr | 0.007mbar / 0.005Torr | 0.03mbar / 0.022Torr |
| 最小待机转速 | 1200rpm | 1200rpm | 1200rpm | 1200rpm |
| 速度控制精度( 以全速百分比表示) | 1% | 1% | 1% | 1% |
| 最小转速时的抽取速度 | 4.1 | 7.5 | 9.9 | 10 |
| 最大连续入口压力 | 200 mbar | 200 mbar | 200 mbar | 50 mbar |
| 马达功率(1相） | 260 W | 280 W | 300 W | 260 W |
| 电源连接器( 1相） | IECEN60320 C13 | IECEN60320 C13 | IECEN60320 C13 | IECEN60320 C13 |
| 推荐的保险丝 | 10A,250Vac rms | 10A,250Vac rms | 10A,250Vac rms | 10A,250Vac rms |
| 重量 | 26.2 kg/ 58 lb | 25.8 kg/ 57 lb | 25.2 kg/ 56 lb | 25.6 kg/ 56 lb |
| 入口法兰 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
| 排气口法兰 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
| 噪声级别 | 52 dB(A) | 52 dB(A) | 52 dB(A) | 52 dB(A) |
| 入口法兰处的震动 | <4.5 mms-1 (rms) | <4.5 mms-1 (rms) | <4.5 mms-1 (rms) | <4.5 mms-1 (rms) |
| 密封性(静态 ) | <1x10-6 mbarls-1 | <1x10-6 mbarls-1 | <1x10-6 mbarls-1 | <1x10-6 mbarls-1 |
| 操作温度范围 | 10 至 40C/ 41 至 104下 | 10 至 40C/ 41 至 104下 | 10 至 40C/ 41 至 104下 | 10 至 40C/ 41 至 104下 |
产品细节 Details
产品介绍
nXDS泵在传统XDS泵的基础上进行改进，提高了抽速，降低了极限压力、功耗和噪音。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了最新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变
频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS泵可完全进行现场维修。nXDS6i 是下一代完全无油的千式涡旋泵，并取代XDS5。与传统XDS 相比，nXD性能更强，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了最新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS可完全进行现场维修。